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    川崎 NTS系列机器人

    NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎独有的驱动部分,能够实现高精度、高刚性的动作。


    NTS系列机器人:

    NTS10  单手臂

    NTS20  双手臂


    应用:

    >无尘室


    布局范例


    一个单个的NT系列机器人能够不使用轨道而只用2到3个FOUP就访问所有的EFEM。

      



    NTS系列机器人规格

    项目

    标准

    选项

    型号

    NTS10

    NTS20

    -

    构造

    水平多关节型

    -

    单手臂

    双手臂

    -

    自由度 (轴)

    4

    5

    -

    动作范围

    θ1轴 (旋转?JT2) (°)

    340

    -

    Z轴 (上下?JT3) (㎜)

    470

    -

    θ2轴 (旋转?JT4) (°)

    340

    -

    H1轴 (旋转?JT6)(°)

    340

    -

    H2轴 (回転?JT7) (°)

    -

    340

    -

    最大臂展 (mm)

    1,066

    -

    重复性 (mm)?1

    ±0.1 (晶圆中心)

    -

    无尘度?2

    ISO1级

    -

    抓手规格?3

    -

    -

    边缘夹持式 / 真空吸附式

    控制柜

    D60

    示教器

    分离电缆 (1-5m)?4

    操作盒

    软件

    标准软件

    KRET

    KMTerm

    KR3D

    KSUtility Lite

    KSUtility






    手册

    使用说明书

    -

    通信说明书

    -

    通用软件 (K-Fast) 导入说明书

    -

    否则

    -

    校准器

    -

    测绘传感器


    ?1:以ISO9283为基准。
    ?2:于川崎的无尘间内测得。
    ?3:标准式样不含抓手。
    ?4:分离电缆请从1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中选择。
                
    详细规格等内容请和各地区销售人员确认。


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